[发明专利]一种基于光致导电电极板的电化学加工装置及其电化学加工方法有效
| 申请号： | 201910225163.2 | 申请日： | 2019-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN110000435B | 公开（公告）日： | 2023-09-26 |
| 发明（设计）人： | 邓宇;梁广洋;岑腾飞;郭钟宁;谭蓉 | 申请（专利权）人： | 广东工业大学;佛山市铬维科技有限公司 |
| 主分类号： | B23H3/02 | 分类号： | B23H3/02 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 胡枫 |
| 地址： | 510006 广东省广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于光致导电电极板的电化学加工装置，包括供电电源、电解液、与所述供电电源电连接的待加工工件、与所述供电电源电连接的电极板、位于所述电极板表面靠近所述待加工工件一侧的光致导电层、用于照射电极板的光照系统以及用于控制所述光照系统的控制机构。相应的，本发明还提供基于所述电化学加工装置的电化学加工方法。本发明提供的基于光致导电电极板的电化学加工装置，利用光致导电层受光照导电的特性，通过控制光源的形状及面积来控制电化学加工的面积及形状，省去了传统电化学加工的掩膜或电极板的制作，简化了加工立体微阵列结构的过程，节约了生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 导电 极板 电化学 加工 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
1.一种基于光致导电电极板的电化学加工装置，其特征在于，包括供电电源、电解液、与所述供电电源电连接的待加工工件、与所述供电电源电连接的电极板、位于所述电极板表面靠近所述待加工工件一侧的光致导电层、用于照射电极板的光照系统以及用于控制所述光照系统的控制机构；所述电极板为透明电极板，所述光照系统发出微阵列光透过所述电极板照射在所述光致导电层的部分表面上，在所述光致导电层上形成绝缘区和导电区；其中，所述绝缘区为所述光致导电层上未被所述光照系统照射到的区域，所述导电区为所述光致导电层上被所述光照系统照射到的区域；通电后，在所述待加工工件与所述导电区之间产生电化学反应，所述待加工工件上与所述导电区相对应的位置被溶解。
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