[发明专利]一种蒸镀设备有效
| 申请号： | 201910225350.0 | 申请日： | 2019-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN109943809B | 公开（公告）日： | 2021-09-28 |
| 发明（设计）人： | 黄永振;武思平;刘高文;王成;罗鹏;王会;邱林林;吴伟力 | 申请（专利权）人： | 云谷（固安）科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 成珊 |
| 地址： | 065500 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种蒸镀设备，其包括：蒸镀气体供应装置，所述蒸镀气体供应装置包括蒸镀气体出口端，所述蒸镀气体出口端上形成有蒸镀气体出口；蒸镀气体助推装置，所述蒸镀气体助推装置包括围绕所述蒸镀气体出口端设置的基座，以及设置于所述基座上的喷气出口，所述喷气出口朝向所述蒸镀气体出口的上方设置。通过设置有朝向蒸镀气体出口喷射惰性气体的喷气出口，通过惰性气体分子与坩埚口内蒸镀气体分子产生碰撞的方式，增加蒸镀分子的动能从而使飞向基板表面并沉积的蒸镀气体分子增加，提高材料利用率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 设备 | ||
【主权项】：
1.一种蒸镀设备，其特征在于，包括：蒸镀气体供应装置，所述蒸镀气体供应装置包括蒸镀气体出口端，所述蒸镀气体出口端上形成有蒸镀气体出口；蒸镀气体助推装置，所述蒸镀气体助推装置包括围绕所述蒸镀气体出口端设置的基座，以及设置于所述基座上的喷气出口，所述喷气出口朝向所述蒸镀气体出口的上方设置。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于云谷（固安）科技有限公司，未经云谷（固安）科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910225350.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
