[发明专利]双自由度电液控制式微位移系统

摘要

本发明公开了一种双自由度电液控制式微位移系统，包括呈“山”字型结构的基座以及执行机构，基座包括位于两侧的支撑臂和位于中间的凸台，两个支撑臂与凸台之间均设有凹部，执行机构的两端分别通过第二柔性铰链连接于两个支撑臂以及执行机构上对应两个凹部的位置分别设有第一柔性铰链。基座的凹部设有电液放大模块，电液放大模块包括外缸套、变截面缸、塞套以及主驱动装置、辅驱动装置。该微位移系统可以实现精确进给位移量并可实现精确定位，且在微位移条件下，有利于延长柔性铰链结构的使用寿命。

主权项

1.一种双自由度电液控制式微位移系统，其特征在于，所述双自由度电液控制式微位移系统包括呈“山”字型结构的基座以及执行机构，所述基座包括位于两侧的支撑臂和位于中间的凸台，两个所述支撑臂与所述凸台之间均设有凹部，所述执行机构的两端分别通过第二柔性铰链连接于两个所述支撑臂以及所述执行机构上对应两个所述凹部的位置分别设有第一柔性铰链；以及，所述基座的所述凹部设有电液放大模块，所述电液放大模块包括外缸套、变截面缸、塞套以及主驱动装置、辅驱动装置；其中，所述外缸套的一端密封连接于所述凹部的底壁，所述塞套的一端密封并通过相应的所述第一柔性铰链连接于所述执行机构，所述塞套的另一端外侧与所述外缸套的另一端滑动密封连接，所述塞套的另一端内侧与所述变截面缸的一端滑动密封连接，所述变截面缸的另一端固定连接于所述凹部的底壁；所述变截面缸延伸入所述塞套的一端为开放端，所述辅驱动装置设于所述变截面缸的另一端内侧，所述主驱动装置设于所述变截面缸的另一端外侧；以及所述主驱动装置包括一体式结构的主压电陶瓷驱动器和主圆环形挡板，所述主圆环形挡板通过主柔性铰链连接于所述外缸套和所述变截面缸；所述微驱动装置包括一体式结构的辅压电陶瓷驱动器和辅圆形挡板，所述辅圆形挡板通过辅柔性铰链连接于所述变截面缸；所述主压电陶瓷驱动器和所述辅压电陶瓷驱动器均固定连接于所述凹部的底壁；所述变截面缸包括大驱动段、放大段和微驱动段，所述微驱动段连接于所述凹部的底壁，所述大驱动段的直径大于所述微驱动段的直径，所述放大段的直径由所述大驱动段至所述微驱动段逐渐递减；所述塞套和所述外缸套分别通过第一开关阀和第二开关阀连接于油箱。