[发明专利]三自由度电液控制式微激振系统

摘要

本发明公开了一种三自由度电液控制式微激振系统，包括底座、激振平台和三个激振臂，三个所述激振臂沿周向间隔布置。所述激振臂包括外缸套、变截面缸、塞套以及主驱动装置、辅驱动装置。该微激振系统可以实现前后、左右、上下多个方向的振动激励，激励平台的输出具有3个平移自由度，具备主激振驱动模式下的大幅度激振，以及辅激振驱动模式下的精确微激振，以满足激振精度的需求。

主权项

1.一种三自由度电液控制式微激振系统，其特征在于，所述三自由度电液控制式微激振系统包括底座、激振平台和三个激振臂，三个所述激振臂沿周向间隔布置；所述激振臂包括外缸套、变截面缸、塞套以及主驱动装置、辅驱动装置；其中，所述外缸套的一端密封连接于所述底座，所述塞套的一端密封并通过球形铰链连接于所述激振平台，所述塞套的另一端外侧与所述外缸套的另一端滑动密封连接，所述塞套的另一端内侧与所述变截面缸的一端滑动密封连接，所述变截面缸的另一端固定连接于所述底座；所述变截面缸延伸入所述塞套的一端为开放端，所述辅驱动装置设于所述变截面缸的另一端内侧，所述主驱动装置设于所述变截面缸的另一端外侧；以及所述主驱动装置包括一体式结构的主压电陶瓷驱动器和主圆环形挡板，所述主圆环形挡板通过主柔性铰链连接于所述外缸套和所述变截面缸；所述微驱动装置包括一体式结构的辅压电陶瓷驱动器和辅圆形挡板，所述辅圆形挡板通过辅柔性铰链连接于所述变截面缸；所述主压电陶瓷驱动器和所述辅压电陶瓷驱动器均固定连接于所述底座；所述变截面缸包括大驱动段、放大段和微驱动段，所述微驱动段连接于所述底座，所述大驱动段的直径大于所述微驱动段的直径，所述放大段的直径由所述大驱动段至所述微驱动段逐渐递减；所述塞套和所述外缸套分别通过第一开关阀和第二开关阀连接于油箱。