[发明专利]电子器件和制造该电子器件的方法在审
申请号: | 201910226482.5 | 申请日: | 2019-03-25 |
公开(公告)号: | CN110911492A | 公开(公告)日: | 2020-03-24 |
发明(设计)人: | 许镇盛;李润姓;赵常玹;申建旭;申铉振 | 申请(专利权)人: | 三星电子株式会社 |
主分类号: | H01L29/78 | 分类号: | H01L29/78;H01L29/41;H01L21/336 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 弋桂芬 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: |
提供了一种电子器件和制造该电子器件的方法。一种电子器件可以包括:衬底;在衬底上的栅电极;在衬底和栅电极之间的铁电层;以及在衬底和铁电层之间的碳层。该碳层可以具有sp |
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搜索关键词: | 电子器件 制造 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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