[发明专利]传感器元件、传感器器件、力检测装置以及机器人有效
申请号: | 201910226635.6 | 申请日: | 2019-03-25 |
公开(公告)号: | CN110319960B | 公开(公告)日: | 2023-07-11 |
发明(设计)人: | 小松洋;河合宏纪;竖山光普 | 申请(专利权)人: | 精工爱普生株式会社 |
主分类号: | G01L5/00 | 分类号: | G01L5/00;B25J19/02 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人: | 玉昌峰 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 提供一种能够发挥优异的力检测特性的传感器元件、传感器器件、力检测装置以及机器人。传感器元件(3)构成为,在从层叠有第一压电元件(31)和第二压电元件(32)的方向俯视观察时,第一基准电位侧面端子(391)在比通过第一信号侧面端子(394)的位置和第二信号侧面端子(392)的位置的第一轴(L3)靠近一侧的侧面(3c、3f)上,位于第一信号侧面端子(394)与第二信号侧面端子(392)之间,第二基准电位侧面端子(393)在比第一轴(L3)靠近另一侧的侧面(3d、3e)上,位于第一信号侧面端子(394)与第二信号侧面端子(392)之间。 | ||
搜索关键词: | 传感器 元件 器件 检测 装置 以及 机器人 | ||
【主权项】:
1.一种传感器元件,其特征在于,包括:在周围具有侧面的层叠体,所述层叠体层叠有多个基准电位电极、第一压电元件、配置于与所述多个基准电位电极中的至少一个之间夹着所述第一压电元件的位置并提取所述第一压电元件的信号的第一信号电极、第二压电元件以及配置于与所述多个基准电位电极中的至少一个之间夹着所述第二压电元件的位置并提取所述第二压电元件的信号的第二信号电极;配置于所述侧面并与所述第一信号电极电连接的第一信号侧面端子;配置于所述侧面并与所述第二信号电极电连接的第二信号侧面端子;配置于所述侧面并与所述基准电位电极中的至少一个电连接的第一基准电位侧面端子;以及配置于所述侧面并与所述基准电位电极中的至少一个电连接的第二基准电位侧面端子,在从所述层叠的方向俯视观察时,所述第一基准电位侧面端子在比通过所述第一信号侧面端子的位置和所述第二信号侧面端子的位置的第一轴靠近一侧的所述侧面上,位于所述第一信号侧面端子与所述第二信号侧面端子之间,所述第二基准电位侧面端子在比所述第一轴靠近另一侧的所述侧面上,位于所述第一信号侧面端子与所述第二信号侧面端子之间。
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