[发明专利]一种高振动耐磨性能的PVD复合膜层制备工艺在审
| 申请号： | 201910227013.5 | 申请日： | 2019-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN109913825A | 公开（公告）日： | 2019-06-21 |
| 发明（设计）人： | 蒋学军;孙伟;龚诗宝 | 申请（专利权）人： | 伯恩高新科技（惠州）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/02;C23C14/06;C23C14/16 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 叶新平 |
| 地址： | 516267 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高振动耐磨性能的PVD复合膜层制备工艺，包括以下步骤：清洁工件；在所述工件表面制备底层膜层；在所述底层膜层上制备混镀打底层；在所述混镀打底层上制备混度加硬层。其中，清洁工件目的是为了保证工件表面无杂质残留，从而保证膜层的质量；底层膜层包括钛层和铬层，加强了膜层与工件的贴合效果；混镀打底层为钨和铬混合制成，能够有效的衔接底层膜层与混镀加硬层的连接；混镀加硬层为钨和铬混合制成，制作过程中引入乙炔，且加长制作时间，提高了膜层的硬度。按照本发明所提供的PVD复合膜层制备工艺，所制作出来的膜层不仅能与工件高度结合，且在接受振动耐磨测试时不会出现漏白，振动耐磨性能高，并能适用于工业化生产。 | ||
| 搜索关键词： | 底层膜层 膜层 复合膜层 耐磨性能 制备工艺 打底层 加硬层 制备 工件表面 清洁工件 高振动 乙炔 耐磨测试 贴合效果 杂质残留 制作过程 铬层 混度 加长 钛层 制作 保证 衔接 引入 | ||
【主权项】：
1.一种高振动耐磨性能的PVD复合膜层制备工艺，其特征在于，包括以下步骤：S1：清洁工件；S2：在所述工件表面制备底层膜层；S3：在所述底层膜层上制备混镀打底层；S4：在所述混镀打底层上制备混度加硬层。
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