[发明专利]一种陶瓷压力传感器的制备方法有效
申请号: | 201910227574.5 | 申请日: | 2019-03-25 |
公开(公告)号: | CN110285899B | 公开(公告)日: | 2021-05-11 |
发明(设计)人: | 徐志望 | 申请(专利权)人: | 绍兴文理学院元培学院 |
主分类号: | G01L1/22 | 分类号: | G01L1/22;G01L9/00;C04B41/50;C04B41/85;C08G8/28 |
代理公司: | 杭州杭诚专利事务所有限公司 33109 | 代理人: | 尉伟敏 |
地址: | 312000 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明涉及传感器技术领域,公开了一种陶瓷压力传感器的制备方法。该制备方法为:1)选用氧化铝陶瓷为基座,清洗干净后烘干,在陶瓷基座弹性膜片处印刷银钯导体浆料,室温下静置,然后进行干燥,干燥完成后置于高温炉中进行一次烧结,烧结完成后冷却至室温;2)在氧化铝陶瓷为基座的指定位置处通过丝网印刷将厚膜浆料承印在氧化铝陶瓷为基板表面;3)将承印有厚膜浆料的氧化铝陶瓷为基板置于红外光灯下进行干燥,然后置于高温炉内进行二次烧结,冷却,即得。本发明大大缩短电阻浆料的固化时间,陶瓷基体上的电阻浆料在固化过程中不会发生形变。 | ||
搜索关键词: | 一种 陶瓷 压力传感器 制备 方法 | ||
【主权项】:
1.一种陶瓷压力传感器的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:1)选用氧化铝陶瓷为基座,清洗干净后烘干,在陶瓷基座弹性膜片处印刷银钯导体浆料,室温下静置5‑10min,然后进行干燥,干燥完成后置于高温炉中进行一次烧结,烧结完成后冷却至室温;2)在氧化铝陶瓷为基座的指定位置处通过丝网印刷将厚膜浆料承印在氧化铝陶瓷为基板表面;3)将承印有厚膜浆料的氧化铝陶瓷为基板置于红外光灯下进行干燥,然后置于高温炉内进行二次烧结,冷却,即得。
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