[发明专利]用于溅射系统的玻璃托盘

摘要

本发明揭示一种用于溅射系统的玻璃托盘。将一个或多个玻璃基片在基本上垂直的取向上运输通过溅射系统的托盘。在一些情况下，托盘包括具有孔口的框架和所述孔口中的可调节网格阵列。所述可调节网格阵列是可配置地来固持不同形状和/或大小的多个玻璃基片。在一种情况下，所述可调节网格阵列包括垂直支撑杆和水平支撑杆的系统，其中所述垂直支撑杆被配置来都在所述多个玻璃基片的垂直边缘处将所述多个玻璃基片支撑，其中所述水平支撑杆被配置来在所述多个玻璃基片的水平边缘处将所述多个玻璃基片支撑，其中所述水平支撑杆的末端被可滑动地与所述垂直支撑杆接合。

主权项

1.一种用于将多个玻璃基片运输通过溅射设备的托盘，所述托盘包括：框架，其包括孔口；以及可调节网格阵列，其在所述孔口中，所述可调节网格阵列是可配置地来固持不同形状和/或大小的所述多个玻璃基片；其中所述托盘被配置来固持所述多个玻璃基片，每个通过至少两个边缘来固持，并且在运输通过所述溅射设备期间固持在基本上垂直的取向中。