[发明专利]快速统计大口径光学元件表面污染和损伤的方法在审
| 申请号： | 201910228707.0 | 申请日： | 2019-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN109839387A | 公开（公告）日： | 2019-06-04 |
| 发明（设计）人： | 王海军;张传超;王静轩;陈静;张丽娟;蒋晓龙;廖威;栾晓雨;蒋晓东 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
| 主分类号： | G01N21/94 | 分类号： | G01N21/94 |
| 代理公司： | 重庆为信知识产权代理事务所(普通合伙) 50216 | 代理人： | 蔡冬彦 |
| 地址： | 621900 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种快速统计大口径光学元件表面污染和损伤的方法，包括以下步骤：S1：将大口径光学元件置于暗室内；S2：启动并调整全反射照明模块，使光线以全反射角入射大口径光学元件的表面；S3：利用图像采集系统对大口径光学元件的表面进行图像采集；S4：关闭全反射照明模块；S5：启动并调整低角度入射照明模块；S6：利用图像采集系统对大口径光学元件的表面进行图像采集。采用以上方法，避免了复杂的流程，简洁、高效、直观地实现了大口径光学元件表面污染和损伤的快速分辨和统计，解决了目前技术不能兼顾同时统计污染和损伤的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 大口径光学元件 表面污染 照明模块 损伤 图像采集系统 图像采集 全反射 入射 统计 全反射角 分辨 直观 室内 污染 | ||
【主权项】：
1.一种快速统计大口径光学元件表面污染和损伤的方法，其特征在于，包括：将大口径光学元件置于暗室中的步骤；利用采集照明系统，使光线以全反射角入射大口径光学元件的表面，并利用图像采集系统获取大口径光学元件表面损伤点分布的单一图像的步骤；利用采集照明系统，使光线以低角度入射照明大口径光学元件的表面，并利用图像采集系统获取大口径光学元件表面污染点和损伤点分布的混合图像的步骤；以及利用计算机对图像采集系统两次分别获取到的单一图像和混合图像进行处理，获得大口径光学元件表面污染点分布的单一图像的步骤。
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