[发明专利]金属表面电场噪声的检测装置及方法

摘要

本发明公开了金属表面电场噪声的检测装置，包括真空腔，还包括设置在真空腔内的芯片支撑架，芯片支撑架上设置有钙原子炉和滤波电路板，滤波电路板的芯片放置孔内设置有离子阱芯片，离子阱芯片上方设置有样品放置架，真空腔上设置有光电倍增管和光学成像镜，真空腔上还设置有通光窗口。本发明还公开了金属表面电场噪声的检测方法，本发明利用离子的反常加热效应来进行金属表面电场噪声的检测，相比通用的表面测量仪器噪声谱密度精度高至10^‑10 V²/m²Hz，适用于需要超高光滑度的材料表面金属电场噪声的检测。

主权项

1.金属表面电场噪声的检测装置，包括真空腔(12)，还包括设置在真空腔(12)内的芯片支撑架(17)，芯片支撑架(17)上设置有钙原子炉(15)和滤波电路板(19)，滤波电路板(19)的芯片放置孔内设置有离子阱芯片(20)，离子阱芯片(20)上方设置有样品放置架(21)，真空腔(12)上设置有光电倍增管(10)和光学成像镜(11)，真空腔(12)上还设置有通光窗口。