[发明专利]一种用于HIT电池的防花篮印制绒液及其制绒方法有效
申请号: | 201910229647.4 | 申请日: | 2019-03-25 |
公开(公告)号: | CN111326410B | 公开(公告)日: | 2023-03-28 |
发明(设计)人: | 吴春勇;斯小阳;姚伟明;夏庆华 | 申请(专利权)人: | 湖州飞鹿新能源科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/306 | 分类号: | H01L21/306;H01L31/18 |
代理公司: | 浙江千克知识产权代理有限公司 33246 | 代理人: | 赵佳 |
地址: | 313000 浙江省湖州市长兴县经济技*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明涉及单晶硅表面处理领域,尤其涉及一种用于HIT电池的防花篮印制绒液及其制绒方法。所述的制绒液按照重量百分比计算包括防花篮印制绒添加剂0.1~5%、辅助制绒剂0~0.5%、pH缓冲剂0.1~0.8%余量为碱液。本发明适用于HIT电池制绒过程,克服了现有HIT制绒技术中生产产能低,要用到大量异丙醇,且容易出现花篮印等外观不良现象的缺陷,因而具有防止硅片制绒时产生花篮印、气泡柱等不良现象的优点,同时本发明制绒后的金字塔大小达5‑12um,在维持大金字塔的前提下,有效的缩短了硅片制绒时间,提高了单槽生产产能,此外还具有降低制绒时硅片减重,降低碱耗量,延长制绒液寿命的优点。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 hit 电池 花篮 印制 及其 方法 | ||
【主权项】:
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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