[发明专利]在透射带电粒子显微镜中研究动态试样在审
| 申请号： | 201910229781.4 | 申请日： | 2019-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN110361413A | 公开（公告）日： | 2019-10-22 |
| 发明（设计）人： | B.L.M.亨德里克森;E.R.基夫特 | 申请（专利权）人： | FEI公司 |
| 主分类号： | G01N23/2255 | 分类号： | G01N23/2255;G01N23/2252;G01N23/2251;G01N23/207;H01J37/26;G01N23/04 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 张凌苗;刘春元 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 在透射带电粒子显微镜中研究动态试样。一种使用透射带电粒子显微镜检查动态试样的方法，所述方法包括：用于产生带电粒子束的来源；试样支架，用于将所述试样保持在试样平面内；照明系统，用于将所述束引导到所述试样上；成像系统，用于将通过所述试样透射的带电粒子引导到检测器平面中的检测器上，具体地包括：对所述束进行稀疏化，以便在检测器级别上产生包括子图像分布的图像，所述子图像至少沿选定的扫描路径彼此相互隔离；使用扫描组件在时间间隔Δt期间沿所述扫描路径引起所述图像和所述检测器的相对运动，以便将每个子图像涂抹成所述检测器上的检测条痕，每个这样的条痕在所述时间间隔Δt期间捕获其相关子图像的时间演变。 | ||
| 搜索关键词： | 检测器 子图像 透射 带电粒子 扫描路径 显微镜 条痕 带电粒子引导 图像 带电粒子束 检测器平面 显微镜检查 成像系统 扫描组件 试样保持 试样平面 试样支架 照明系统 稀疏 涂抹 捕获 隔离 研究 检测 | ||
【主权项】：
1.一种使用透射带电粒子显微镜检查动态试样的方法，所述方法包括：用于产生带电粒子束的来源；试样支架，用于将所述试样保持在试样平面内；照明系统，用于将所述束引导到所述试样上；成像系统，用于将通过所述试样透射的带电粒子引导到检测器平面中的检测器上。其特征在于：对所述束进行稀疏化，以便在检测器级别上产生包括子图像分布的图像，所述子图像至少沿选定的扫描路径彼此相互隔离；使用扫描组件在时间间隔Δt期间沿所述扫描路径引起所述图像和所述检测器的相对运动，以便将每个子图像涂抹成所述检测器上的检测条痕，每个这样的条痕在所述时间间隔Δt期间捕获其相关子图像的时间演变。
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