[发明专利]偏振分析装置及偏振分析装置的控制方法在审

专利信息
申请号: 201910230708.9 申请日: 2019-03-26
公开(公告)号: CN110320185A 公开(公告)日: 2019-10-11
发明(设计)人: 沟口亲明 申请(专利权)人: 天马日本株式会社
主分类号: G01N21/64 分类号: G01N21/64;G01J4/00
代理公司: 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 代理人: 黄志华;何月华
地址: 日本神*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明涉及一种偏振分析装置及偏振分析装置的控制方法。所述偏振分析装置包括:光源,所述光源将光发射到样品;液晶面板,所述液晶面板输出来自激发状态的样品发射的光的特定方向的偏振光;图像传感器,所述图像传感器测量偏振光亮度;以及控制器,所述控制器控制液晶面板和图像传感器。控制器配置成:计算矩形波的基准电压;通过校正矩形波中的基准电压来计算校正的基准电压,在所述矩形波中,基准电压的绝对值响应于相位变化而变化;将基准电压和校正的基准电压施加到液晶面板;根据曝光时间操作图像传感器,以测量偏振光的亮度;以及基于测量结果来计算样品的偏振度。
搜索关键词: 基准电压 偏振分析 图像传感器 液晶面板 偏振光 矩形波 校正 光源 测量 控制器控制 控制器配置 时间操作 相位变化 控制器 光发射 偏振度 施加 发射 曝光 输出 激发 响应
【主权项】:
1.一种偏振分析装置,包括:光源,所述光源发射第一光,所述第一光使样品处于激发状态;偏振选择元件,所述偏振选择元件响应于基于对矩形波的控制信息而施加的电压,输出来自激发状态的所述样品发射的第二光的特定方向的偏振光,所述矩形波在正和负之间振荡并且绝对值以第一周期变化;图像传感器,所述图像传感器测量已经通过所述偏振选择元件的偏振光的亮度;以及控制器,所述控制器控制所述偏振选择元件和所述图像传感器,其中,所述控制器被配置为:计算使所述偏振选择元件输出偏振光的所述矩形波的每个相位的基准电压,使得所述偏振光的亮度变化形成以所述第一周期振荡的正弦波;通过校正所述矩形波的两个部分中的至少一个部分中的所述基准电压来计算校正的基准电压,在所述矩形波的所述两个部分中,所述基准电压的绝对值响应于相位变化而增大以及所述基准电压的绝对值响应于相位变化而减小;基于所述基准电压和所述校正的基准电压产生对所述矩形波的控制信息;基于对所述矩形波的控制信息向所述偏振选择元件施加电压;按照具有通过将所述第一周期除以四而获得的时间宽度的曝光时间来操作所述图像传感器,并测量从所述偏振选择元件输出的偏振光的亮度;并且基于所述测量的结果计算所述样品的偏振度。
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