[发明专利]一种自动曝光机在审
| 申请号： | 201910232548.1 | 申请日： | 2019-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN109932873A | 公开（公告）日： | 2019-06-25 |
| 发明（设计）人： | 戴童庆;刘虎;袁璧辉 | 申请（专利权）人： | 深圳市大川光电设备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司： | 北京科家知识产权代理事务所(普通合伙) 11427 | 代理人： | 陈娟 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种自动曝光机，其包括用于对待曝光基板进行对位操作的第一气浮式对位装置、用于对待曝光基板进行第一表面的曝光操作的第一气浮式曝光装置、用于对待曝光基板进行板面翻转操作的气浮式翻转装置、用于对翻转后的待曝光基板进行再次对位操作的第二气浮式对位装置、用于对待曝光基板进行第二表面的曝光操作的第二气浮式曝光装置以及用于对曝光完成的待曝光基板进行出料操作的气浮式出料装置。本发明的自动曝光机，其整个自动化曝光流程单向流动，没有等待时间，可有效提高生产效率，同时，待曝光基板在经过洁净处理的气垫上全程处于无表面接触摩擦的状态，可实现无摩擦的运动定位和高效传送，以及避免了接触摩擦造成的产品质量问题。 | ||
| 搜索关键词： | 气浮式 曝光基板 待曝光基板 自动曝光机 对位操作 对位装置 曝光操作 曝光装置 翻转 产品质量问题 出料装置 单向流动 第二表面 第一表面 翻转装置 接触摩擦 洁净处理 曝光流程 生产效率 气垫 无摩擦 板面 出料 摩擦 自动化 传送 曝光 全程 | ||
【主权项】：
1.一种自动曝光机，其特征在于，所述自动曝光机包括：第一气浮式对位装置，用于通过气浮式结构对待曝光基板进行对位操作；第一气浮式曝光装置，用于通过气浮式结构对所述待曝光基板进行第一表面的曝光操作；气浮式翻转装置，用于通过气浮式结构对所述待曝光基板进行板面翻转操作；第二气浮式对位装置，用于通过气浮式结构对翻转后的所述待曝光基板进行再次对位操作；第二气浮式曝光装置，用于通过气浮式结构对所述待曝光基板进行第二表面的曝光操作；气浮式出料装置，用于通过气浮式结构对曝光完成的所述待曝光基板进行出料操作；所述第一气浮式对位装置、所述第一气浮式曝光装置、所述气浮式翻转装置、所述第二气浮式对位装置、所述第二气浮式曝光装置以及所述气浮式出料装置依次对接设置。
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