[发明专利]一种单晶颗粒薄膜及其气体传感器的制备方法

摘要

本发明涉及半导体材料与器件技术领域，更具体地，涉及一种单晶颗粒薄膜及其气体传感器的制备方法，包括选取钼玻璃作为衬底，选取单晶颗粒在去离子水中搅拌分散，待单晶颗粒沉淀后，缓缓抽干容器中的去离子水，取出钼玻璃片烘干，得到单晶颗粒薄膜。采用该单晶颗粒薄膜制备气体传感器，将制备好的单晶颗粒薄膜在真空中进行第一次退火，利用液相法在单晶颗粒薄膜制备ZnO薄膜层，将制备了ZnO层的CZTS薄膜在真空中进行第二次退火，利用银浆在ZnO层上制备电极，得到气体传感器。工艺简单、操作方便、成本低廉，所制备的气体传感器对气体展现出气敏性能。

主权项

1.一种单晶颗粒薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：S101：选取导电玻璃作为衬底；S102：选取单晶颗粒在去离子水中搅拌分散；S103：待单晶颗粒沉淀后，抽干容器中的去离子水，取出导电玻璃片烘干，得到单晶颗粒薄膜。