[发明专利]用于化学气相沉积的具有热盖的晶圆载体

摘要

本发明提供一种晶圆载体，所述晶圆载体被配置为与化学气相沉积装置一起使用，包括：板，其具有布置为彼此相对的顶表面和底表面；多个平台，其限定在所述板的所述顶表面上；一个或多个盖区段，其配置为与所述板的所述顶表面接合，所述一个或多个盖区段中的每一个限定至少一个孔，所述孔对应于所述多个平台中的一个；改进包括：对于每个平台和相应的盖区段而言：多个径向内基座，其仅设置在所述平台上以支撑相应的衬底；以及多个径向外基座，其仅设置在所述顶表面上并且配置为支撑相应的盖区段。

主权项

1.一种晶圆载体，其特征在于，所述晶圆载体被配置为与化学气相沉积装置一起使用，所述晶圆载体包括：板，其具有布置为彼此相对的顶表面和底表面；多个平台，其限定在所述板的所述顶表面上；一个或多个盖区段，其配置为与所述板的所述顶表面接合，所述一个或多个盖区段中的每一个限定至少一个孔，所述孔对应于所述多个平台中的一个；改进包括：对于每个平台和相应的盖区段而言：多个径向内基座，其仅设置在所述平台上以支撑相应的衬底；以及多个径向外基座，其仅设置在所述顶表面上并且配置为支撑相应的盖区段。