[发明专利]一种束流实时监控装置及方法在审
| 申请号： | 201910234705.2 | 申请日： | 2019-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN110031885A | 公开（公告）日： | 2019-07-19 |
| 发明（设计）人： | 陈娜;时锋;袁立军 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01T1/29 | 分类号： | G01T1/29 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 俞涤炯 |
| 地址： | 201314*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种束流实时监控装置及方法，通过在靶台后方设置第一传感器以及在靶台运动至靶台的运动区域的中点时，第二传感器分别设置位于靶台顶部以及底部前方处，通过第一传感器以及第二传感器量测整个注入过程中注入束流的实时变化情况，采集束流变化的第一监测数据以及第二监测数据。再通过束流实时监测方法，根据第一监测数据的状况来选择使用第一监测数据或第二监测数据作为待处理数据，根据待处理数据以及预设的目标工作状态进行计算得到束流调整参数并根据束流调整参数控制离子注入机对注入束流进行调整，从而精准地注入剂量，保障产品电学性能的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 束流 监测数据 靶台 实时监控装置 待处理数据 第二传感器 第一传感器 调整参数 目标工作状态 离子注入机 靶台运动 保障产品 电学性能 实时变化 实时监测 束流变化 运动区域 注入剂量 量测 预设 采集 | ||
【主权项】：
1.一种束流实时监控装置，应用于离子注入机，所述束流实时监控装置，其特征在于，包括：七个第一传感器，设置于所述离子注入机的靶台的后方，用以监测注入束流的实时变化情况，得到第一监测数据；两个第二传感器，当所述靶台运动至所述靶台的运动区域的中点时，所述第二传感器分别位于所述靶台顶部以及底部的前方，且与所述靶台不相连，所述第二传感器用以监测所述注入束流的实时变化情况，得到第二监测数据；束流调整模块，连接所述第一传感器与所述第二传感器，接收所述第一监测数据以及所述第二监测数据，根据所述第一监测数据，和/或所述第二监测数据以及一预设的目标工作状态计算得到所述注入束流的束流调整参数，所述束流调整模块根据所述束流调整参数控制所述离子注入机调整所述注入束流。
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