[发明专利]真空环境下光学元件多自由度精密调整装置及控制方法有效
| 申请号： | 201910236911.7 | 申请日： | 2019-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN109921682B | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 赵宏伟;王赵鑫;李聪;王吉如;张萌;王顺博;周水龙;王文阳;李莉佳;王军炎;刘思含;常枭;赵泽睿;张嘉珺 | 申请（专利权）人： | 吉林大学 |
| 主分类号： | H02N2/12 | 分类号： | H02N2/12;H02N2/14;G02B7/00 |
| 代理公司： | 吉林长春新纪元专利代理有限责任公司 22100 | 代理人： | 王怡敏 |
| 地址： | 130000 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种真空环境下光学元件多自由度精密调整装置及控制方法，属于精密调整机构的技术领域。偏转角度精密调整组件通过预紧套筒与输出轴相连，旋动预紧套筒利用锥面自定心，实现对偏转角度精密调整组件的预紧，使其与连接套筒紧密接触；钳位自锁组件通过螺栓固连在连接套筒的凸缘上，并利用半球形接触件与筒壁紧密接触实现自锁，筒壁两端分别与连接端盖I、II相连，通过连接端盖I与外部宏观调整定位平台相固连。优点在于：采用模块化设计思想，结构紧凑，无需手动调节且调整定位精度可达纳米级，既能够兼顾空间狭小的局限，又能够兼容真空密封环境，可作为激光干涉仪系统专用精密光学元件的位姿调整，实用性更强。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 环境 光学 元件 自由度 精密 调整 装置 控制 方法 | ||
【主权项】：
1.一种真空环境下光学元件多自由度精密调整装置，其特征在于：包括连接端盖I（1）、轴向大行程位移调整组件、偏转角度精密调整组件（5）、连接套筒（6）、钳位自锁组件（7）、筒壁（8）、连接端盖II（9）、输出轴（14）、预紧套筒（16）和光学安装组件，所述偏转角度精密调整组件（5）通过预紧套筒（16）与输出轴（14）相连，旋动预紧套筒（16）利用锥面自定心，实现对偏转角度精密调整组件（5）的预紧，使其与连接套筒（6）紧密接触；所述钳位自锁组件（7）通过螺栓固连在连接套筒（6）的凸缘上，并利用半球形接触件与筒壁（8）紧密接触实现自锁，筒壁（8）两端分别与连接端盖I（1）、连接端盖II（9）相连，通过连接端盖I（1）与外部宏观调整定位平台相固连。
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