[发明专利]一种光滑表面缺陷的检测方法有效
| 申请号： | 201910239306.5 | 申请日： | 2019-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN109884082B | 公开（公告）日： | 2020-04-03 |
| 发明（设计）人： | 王善忠;黄胜弟 | 申请（专利权）人： | 爱丁堡（南京）光电设备有限公司;南京波长光电科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;G01N21/958;G01N21/88 |
| 代理公司： | 南京中律知识产权代理事务所(普通合伙) 32341 | 代理人： | 李建芳 |
| 地址： | 211123 江苏省南*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光滑表面缺陷的检测方法为在待测元件表面进行明场局部暗场照射；当明场照射时，利用相机获取待测元件表面的明场图像；当局部暗场照射时，利用相机获取待测元件表面暗场部分的图像，并通过旋转待测元件获取待测元件整个表面的暗场图像，明场图像或暗场图像上的斑点则为待测元件表面的缺陷，通过测量斑点大小获得缺陷的等级。本发明适用于球面、非球面、透明和非透明光滑表面缺陷的检测，适应性好；检测装置结构简单，对相机的像素要求低，成本低，检测精度高，进一步，还可同时实现对待测元件上下表面的检测，检测效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光滑 表面 缺陷 检测 方法 | ||
【主权项】：
1.一种光滑表面缺陷的检测方法，其特征在于：在待测元件表面进行明场照射或局部暗场照射；当对待测元件表面进行明场照射时，利用相机获取待测元件表面的明场图像，明场图像上的斑点则为待测元件表面的缺陷；当对待测元件进行局部暗场照射时，局部暗场中暗场和明场的分界线过待测元件的中心或者暗场和明场的分界线为直线、且暗场的面积不小于明场的面积，利用相机获取待测元件表面暗场部分的图像，并通过旋转待测元件获取待测元件整个表面的暗场图像，暗场图像上的斑点则为待测元件表面的缺陷，通过测量斑点大小获得缺陷的等级。
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