[发明专利]寡聚物及包含其的感光性树脂组合物、感光性间隙物与涂料

摘要

本发明提供一种寡聚物，其为麦克加成反应的生成物，前述麦克加成反应的反应物包含麦克给体与麦克受体。其中前述麦克给体为氨或铵离子源，前述麦克受体的结构中具有至少三个乙烯性不饱和官能基与至少一个羟基或羧基，当前述麦克受体不具有羧基时，前述寡聚物的合成必需包括导入羧基的步骤。据此，本发明的寡聚物具有良好的交联能力，且对于显影液具有良好的相溶性，是以当将前述寡聚物应用于微影制程时可满足现今高分辨率的图形化需求。