[发明专利]一种减少气膜微振动的空气静压轴承结构

摘要

本发明公开了一种减少气膜微振动的空气静压轴承结构，该结构为一种增加供气面积，减弱气体流速从而使气膜内部的压力分布更加均匀，进而达到弱化气膜微振动的目的。一定压力的清洁干燥的气体通过进气孔后流进双层多孔材料，经双层多孔材料表面流入主轴和止推板之间，由多孔材料表面无数孔隙流出的气体，在主轴和止推板之间形成稳定的气膜，气膜包裹着主轴。施加载荷后，由于止推板上表面气膜与下表面气膜厚度不一致导致上、下气膜间产生了压力差，支承着止推板以平衡外载荷。本发明的双层材料可以充分发挥两种多孔材料(基底材料，致密层)的物理性能，从而弱化气膜波动，进一步提高了空气静压轴承的应用精度和气浮工作台的加工精度。

主权项

1.一种减少气膜微振动的空气静压轴承结构，其特征在于：该空气静压轴承结构采用石墨多孔材料作为多孔质基体(14)，在多孔石墨的表面上涂抹环氧粘合剂，而形成具有小于多孔质基体(14)渗透性的多孔质致密层(13)，组成多孔节流器从而达到减弱气膜微振动的目的；通过空气静压主轴径向回转误差测试试验，此结构使气体流动平稳，降低气体流速，减弱气体的气旋现象，使主轴(11)运转平稳。