[发明专利]物理参数估计方法、装置和电子设备有效
申请号: | 201910243920.9 | 申请日: | 2019-03-28 |
公开(公告)号: | CN109781153B | 公开(公告)日: | 2020-08-11 |
发明(设计)人: | 鲁溟峰;武进敏;熊坤;夏香根;张峰;陶然 | 申请(专利权)人: | 北京理工大学 |
主分类号: | G01D5/26 | 分类号: | G01D5/26 |
代理公司: | 北京彩和律师事务所 11688 | 代理人: | 闫桑田;刘磊 |
地址: | 100081 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 公开了一种物理参数估计方法、物理参数估计装置和电子设备,该方法包括:读取对一被测件执行干涉测量所得到的牛顿环条纹图;获取牛顿环条纹图的第一方向信号个数和第一方向信号长度;针对每个第一方向信号,基于第一方向信号长度范围内的每个第一调频率参数,对第一方向信号进行离散线性调频傅里叶变换(DCFT),以获得强度分布信号在DCFT域中的第一幅度谱;基于第一幅度谱确定第一幅度峰值所对应的第一调频率参数和第一频率参数;以及至少根据第一幅度峰值对应的第一调频率参数和第一频率参数来估计干涉测量中涉及的物理参数。这样,可以以高精度稳定地估计干涉测量中涉及的物理参数。 | ||
搜索关键词: | 物理 参数估计 方法 装置 电子设备 | ||
【主权项】:
1.一种物理参数估计方法,包括:读取对一被测件执行干涉测量所得到的牛顿环条纹图;获取所述牛顿环条纹图的第一方向信号个数和第一方向信号长度;针对每个所述第一方向信号,基于所述第一方向信号长度范围内的每个第一调频率参数,对所述第一方向信号进行离散线性调频傅里叶变换(DCFT),以获得所述牛顿环条纹图的每个第一方向信号在每个第一调频率参数下的第一方向像素集合的强度分布信号在DCFT域中的第一幅度谱,所述第一方向像素集合包括第一方向中的一排像素,所述第一方向为所述牛顿环条纹图的行方向和列方向之一;基于所述第一幅度谱确定第一幅度峰值所对应的第一调频率参数和第一频率参数;以及至少根据所述第一幅度峰值对应的所述第一调频率参数和所述第一频率参数来估计所述干涉测量中涉及的物理参数。
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