[发明专利]一种改善狭缝涂布头上光阻结晶的方法在审
| 申请号： | 201910244483.2 | 申请日： | 2019-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN109807028A | 公开（公告）日： | 2019-05-28 |
| 发明（设计）人： | 李思拥;郑运松;曾一鑫 | 申请（专利权）人： | 信利光电股份有限公司 |
| 主分类号： | B05C5/02 | 分类号： | B05C5/02;B05B15/50 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 许青华;廖苑滨 |
| 地址： | 516600 广东省汕尾市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种改善狭缝涂布头上光阻结晶的方法，其是在所述狭缝涂布头的外表面上设置疏水疏油涂层。本发明中通过在狭缝涂布头的外表面设置疏水疏油涂层，解决了狭缝涂布头上光阻结晶的问题，有效地减少狭缝涂布头表面光阻结晶物的残留，从而提高了狭缝涂布头的清洁效果，不需要额外除去光阻结晶物，减少投入，提高设备利用率的同时降低基材的报废率。 | ||
| 搜索关键词： | 狭缝涂布 光阻 疏水疏油涂层 结晶物 设备利用率 有效地减少 清洁效果 报废率 基材 残留 | ||
【主权项】：
1.一种改善狭缝涂布头上光阻结晶的方法，其特征在于，其是在所述狭缝涂布头的外表面上设置疏水疏油涂层。
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