[发明专利]一种MEMS空间电场强度传感器及测量系统及方法在审
| 申请号： | 201910245285.8 | 申请日： | 2019-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN109884411A | 公开（公告）日： | 2019-06-14 |
| 发明（设计）人： | 赵青 | 申请（专利权）人： | 赵青 |
| 主分类号： | G01R29/12 | 分类号： | G01R29/12 |
| 代理公司： | 杭州君度专利代理事务所(特殊普通合伙) 33240 | 代理人： | 黄前泽 |
| 地址： | 200000 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种MEMS空间电场强度传感器及测量系统及方法，包括MEMS芯片，在MEMS芯片内设置两组第一静电场微电机和第二静电场微电机，第一静电场微电机是主动驱动电机，且第一静电场微电机中产生的静电力会使得第一静电场微电机中的极板旋转的结构，第二静电场微电机是被动驱动电机，被动驱动电机包括一组开有一孔以上的金属叶片构成的转子以及与转子结构相同的定子，且定子上的金属片是当金属片暴露在外面时能够获取空间中电场量的感应片，且转子与定子配合后保证感应片分时段屏蔽电场，保证空气中的静电场在不断地屏蔽、暴露过程中产生不同的电荷量，最终形成交变信号，通过检测该交变信号来作为传感器检测空间电场强度的信号值。 | ||
| 搜索关键词： | 静电场 微电机 电机 转子 被动驱动 测量系统 交变信号 感应片 金属片 传感器 传感器检测 金属叶片 屏蔽电场 主动驱动 转子结构 电场量 电荷量 分时段 静电力 暴露 屏蔽 极板 两组 保证 检测 配合 | ||
【主权项】：
1.一种MEMS空间电场强度传感器，包括MEMS芯片(3)，其特征在于：在MEMS芯片(3)内设置两组旋转式的第一静电场微电机(1)和第二静电场微电机(2)，所述的第一静电场微电机(1)是对其两块极板间施加电压后，保证载荷会产生静电力的主动驱动电机，所述第二静电场微电机(2)是两平行极板间不施加电压，且当主动驱动电机工作时能够被驱动而旋转的被动驱动电机，所述被动驱动电机包括一组开有一孔以上的金属叶片构成的转子(4)以及与转子(4)结构相同的定子(5)，且所述定子(5)上的金属片是当金属片暴露在外面时能够获取空间中电场量的感应片，且所述转子(4)与定子(5)配合后保证感应片分时段屏蔽电场，保证空气中的静电场在不断地屏蔽、暴露过程中产生不同的电荷量，最终形成交变信号，通过检测该交变信号来作为传感器检测空间电场强度的信号值。
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