[发明专利]一种面向压电器件的检测系统及其方法有效
申请号: | 201910245352.6 | 申请日: | 2019-03-28 |
公开(公告)号: | CN109945926B | 公开(公告)日: | 2021-07-02 |
发明(设计)人: | 陈志龙 | 申请(专利权)人: | 北京同创微纳科技有限公司 |
主分类号: | G01D21/02 | 分类号: | G01D21/02 |
代理公司: | 济南圣达知识产权代理有限公司 37221 | 代理人: | 张庆骞 |
地址: | 100096 北京市昌平区*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本公开提供了面向压电器件的检测系统及其方法。其中,面向压电器件的检测系统,包括:线性放大模块,其与自适应数字控制模块相连;所述随动电源模块用于为线性放大模块提供工作电压;所述线性放大模块,用于线性放大所述自适应数字控制模块输出的驱动信号,以驱动待测压电器件;负载反馈模块,其用于将实时检测的线性放大模块输出信号以及待测压电器件的某个物理量均反馈至自适应数字控制模块;所述自适应数字控制模块,用于根据输入信号和负载反馈,自适应输出驱动信号经线性放大模块放大后驱动待测压电器件的某个物理量跟随输入信号变化。 | ||
搜索关键词: | 一种 面向 压电 器件 检测 系统 及其 方法 | ||
【主权项】:
1.一种面向压电器件的检测系统,其特征在于,包括:线性放大模块,其与自适应数字控制模块相连;所述随动电源模块用于为线性放大模块提供工作电压;所述线性放大模块,用于线性放大所述自适应数字控制模块输出的驱动信号,以驱动待测压电器件;负载反馈模块,其用于将实时检测的线性放大模块输出信号以及待测压电器件的某个物理量均反馈至自适应数字控制模块;所述自适应数字控制模块,用于根据输入信号和负载反馈,自适应输出驱动信号经线性放大模块放大后驱动待测压电器件的某个物理量跟随输入信号变化。
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