[发明专利]一种基于集成微腔的光谱探测芯片及重构方法在审
| 申请号： | 201910246109.6 | 申请日： | 2019-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN110031098A | 公开（公告）日： | 2019-07-19 |
| 发明（设计）人： | 王少伟;刘清权;颜炎洪;陈旭;陆卫 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海技术物理研究所 |
| 主分类号： | G01J3/28 | 分类号： | G01J3/28;G01J3/02 |
| 代理公司： | 上海沪慧律师事务所 31311 | 代理人： | 郭英 |
| 地址： | 200083 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于集成微腔的光谱探测芯片及重构方法，本发明的光谱探测芯片是在普通阵列探测器芯片上，通过纳米压印技术和镀膜技术制作多通道集成分光结构，使得原探测器芯片上不同像元对入射光的响应不同，再利用光谱重构的方法还原出样品光谱。本发明的光谱探测芯片将分光和探测集于一体，使探测器本身就具备了光谱分辨能力，实现芯片级光谱仪器，具有体积小、成本低、分辨率高、制作方便等优点，在光谱分析领域具有重要的应用价值。 | ||
| 搜索关键词： | 光谱探测 芯片 微腔 重构 光谱分辨能力 纳米压印技术 探测器芯片 阵列探测器 镀膜技术 分光结构 光谱分析 光谱仪器 光谱重构 样品光谱 制作方便 多通道 入射光 体积小 芯片级 再利用 分辨率 探测器 分光 像元 还原 探测 响应 制作 应用 | ||
【主权项】：
1.一种基于集成微腔的光谱探测芯片，其特征在于:所述的光谱探测芯片的结构为：在探测器部件(1)上依次为第一高反射层(2)，纳米压印制作的阶梯状中间层(3)，第二高反射层(4)，带通滤光片(5)，其中带通滤光片通过外部支架悬架于探测器结构框架之上；所述的阶梯状中间层(3)的材料为紫外纳米压印胶或热纳米压印胶，采用纳米压印技术制作，其阶梯状中间层(3)为一维阶梯状或者二维阶梯状介质层，台阶个数和探测器像元相匹配，台阶厚度由需要探测的波段范围和设计的分辨率决定。
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