[发明专利]具有低原子量金属电极的体声波谐振器

摘要

本发明涉及具有低原子量金属电极的体声波谐振器。一种BAW谐振器包括：衬底，其包括声反射器；第一电极，其安置在所述声反射器之上且包括第一电极层及第二电极层，所述第一电极层包括相对较高声阻抗材料，且所述第二电极层包括相对较低声阻抗；压电层，其安置在所述第二电极层之上；及第二电极，其安置在所述压电层之上且包括第三电极层及第四电极层，所述第三电极层包括所述低声阻抗，且所述第四电极层包括所述相对较高声阻抗材料且被直接安置在所述压电层上。所述BAW谐振器的声堆叠的总厚度是大约λ/2，其中λ是对应于所述BAW谐振器的厚度伸缩谐振频率的波长。

主权项

1.一种体声波BAW谐振器，其包括：衬底，其包括声反射器；声堆叠，其包括：安置在所述衬底之上的第一压电层；第一电极，其安置在所述第一压电层及所述声反射器之上且包括第一电极层及第二电极层，所述第一电极层包括相对较高声阻抗材料，且所述第二电极层包括相对较低声阻抗材料；第二压电层，其安置在所述第二电极层之上；第二电极，其安置在所述第二压电层之上且包括第三电极层及第四电极层，所述第三电极层包括所述相对较低声阻抗材料，且所述第四电极层包括所述相对较高声阻抗材料且被直接安置在所述第二压电层上；及第三压电层，其安置在所述第四电极层之上，其中所述声堆叠的总厚度是大约λ/2，其中λ是对应于所述BAW谐振器的厚度伸缩谐振频率的波长。