[发明专利]基于干涉照明的光谱偏振形貌五维信息测量装置及方法有效
| 申请号： | 201910248037.9 | 申请日： | 2019-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN111750799B | 公开（公告）日： | 2022-03-18 |
| 发明（设计）人： | 李建欣;许逸轩;柏财勋;刘杰 | 申请（专利权）人： | 南京理工大学 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;G01B9/02098 |
| 代理公司： | 南京理工大学专利中心 32203 | 代理人： | 马鲁晋 |
| 地址： | 210094 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种基于干涉照明的光谱偏振形貌五维信息测量装置及方法，该装置包括宽光谱光源组件、横向剪切干涉组件、投影物镜组件、成像采集组件和信息处理组件。该方法包括：宽光谱光源组件发射光束至横向剪切干涉组件；横向剪切干涉组件对光束进行处理形成白光干涉条纹；投影物镜组件将白光干涉条纹投影至待测件表面；成像采集组件将接收到的经待测件表面调制后的白光干涉条纹传输至信息处理组件，经解算获得待测件的光谱偏振形貌五维信息。本发明利用干涉照明对待测件表面的五维信息进行调制，只需单次测量即可同时获得待测件的光谱偏振形貌信息。相对传统的测量方法，本发明成像时只需一个物镜，系统调制传递函数更好，成像空间分辨率更高。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 干涉 照明 光谱 偏振 形貌 信息 测量 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于南京理工大学，未经南京理工大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910248037.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：核电站燃料组件格架宽度水下非接触的测量系统及方法
- 下一篇：收放板机
