[发明专利]一种抗磨损耐腐蚀的DLC/SiN有效
| 申请号： | 201910249636.2 | 申请日： | 2019-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN109898051B | 公开（公告）日： | 2020-02-04 |
| 发明（设计）人： | 魏秋平;马莉;周科朝;余志明 | 申请（专利权）人： | 中南大学 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/35;C23C14/02 |
| 代理公司： | 43114 长沙市融智专利事务所(普通合伙) | 代理人： | 颜勇 |
| 地址： | 410083 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 一种抗磨损耐腐蚀的DLC/SiN | ||
| 搜索关键词： | 制备 合金基体 复合薄膜 金属 表面改性层 离子刻蚀 抗磨损 耐腐蚀 磁控溅射技术 磁控溅射设备 类金刚石薄膜 大规模应用 等离子轰击 非晶态金属 合金改性层 表面制备 磁控溅射 含碳气氛 基底偏压 离子清洗 偏压效果 原位制备 综合性能 低成本 复合膜 射频基 基底 离化 薄膜 离子 施加 | ||
【主权项】：
1.一种抗磨损耐腐蚀的DLC/SiN
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