[发明专利]光学测量装置及方法有效
| 申请号： | 201910250350.6 | 申请日： | 2019-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN111750774B | 公开（公告）日： | 2021-09-24 |
| 发明（设计）人： | 宋涛;徐兵;周畅;李煜芝 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G01B11/02 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种光学测量装置及方法，承载模块上设置有运动模块，运动模块包括一第一滑块及两个对称设置的第二滑块，所述第一滑块能够沿X方向移动，两个所述第一滑块分别与所述第一滑块的一端连接以带动所述第一滑块沿Y方向移动，一光学测量模块固定于所述第一滑块上并用于以获取所述基底上标记的位置信息；一运动位置测量模块用于获取所述第一滑块及所述第二滑块的位姿信息；校正模块利用所述运动位置测量模块获取的位姿信息校正所述光学测量模块获取的位置信息，以补偿第一滑块及第二滑块在运动时姿态变化产生的影响以提高光学测量模块获取的位置信息的精度，并提高了测量的重复性。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 测量 装置 方法 | ||
【主权项】：
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