[发明专利]掩膜组件组装方法及由该方法组装的掩膜组件有效
| 申请号： | 201910250817.7 | 申请日： | 2019-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN109943805B | 公开（公告）日： | 2021-04-30 |
| 发明（设计）人： | 李世泰;甘帅燕;王亚;李伟丽 | 申请（专利权）人： | 云谷（固安）科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/12;C23C14/24;H01L51/56 |
| 代理公司： | 苏州威世朋知识产权代理事务所(普通合伙) 32235 | 代理人： | 张炜平 |
| 地址： | 065500 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种掩膜组件组装方法及由该方法组装的掩膜组件，基于所提供的掩膜组件组装方法，所得到的掩模组件中被不同掩膜支撑条支撑的同一掩膜片在掩膜支撑条分布方向上的不同位置处具有相同的水平高度，如此在真空蒸镀时能够提高掩膜片上表面与蒸镀基板之间的贴合度，降低沉积于蒸镀基板上有机材料的位置偏离，使得像素图形的阴影(shadow)更加均匀，可有效避免显示屏产生混色、亮度不均等问题。 | ||
| 搜索关键词： | 组件 组装 方法 | ||
【主权项】：
1.一种掩膜组件组装方法，其特征在于，包括：提供掩膜框，所述掩膜框具有两个相对设置的第一边及两个相对设置的第二边；拉伸张紧掩膜支撑条并将所述掩膜支撑条的两端分别固定至所述掩膜框两个所述第一边，于所述第一边的长度方向上，若干掩膜支撑条间隔分布，且靠近所述掩膜框中心位置所述掩膜支撑条的厚度小于远离所述掩膜框中心位置所述掩膜支撑条的厚度；于所述掩膜框的两个所述第二边施加用以挤压所述掩膜框的第一对顶力，拉伸张紧具有掩膜图案的掩膜片并将所述掩膜片的两端分别固定至所述掩膜框两个所述第二边，所述掩膜组件至少具有一条所述掩膜片且每条所述掩膜片均由若干所述掩膜支撑条支撑。
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