[发明专利]掩膜基板及具有它的掩膜板在审
| 申请号： | 201910250955.5 | 申请日： | 2019-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN109837508A | 公开（公告）日： | 2019-06-04 |
| 发明（设计）人： | 唐军 | 申请（专利权）人： | 唐军 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/12;C23C14/24 |
| 代理公司： | 广州市南锋专利事务所有限公司 44228 | 代理人： | 郑学伟;叶利军 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市坪山区碧岭*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种掩膜基板及具有它的掩膜板，其中，该掩膜基板包括基板本体，基板本体具有蒸镀面、与蒸镀面相背的玻璃面及自蒸镀面贯穿至玻璃面的多个蒸镀孔；蒸镀面被构造成经粗化处理后具有预定粗糙度的粗糙面。根据本发明提供的掩膜基板及具有它的掩膜板，蒸镀面被构造成经粗化处理后具有预定粗糙度的粗糙面，如此，一方面，有机材料能够挂在该粗糙面上，不易掉落至下方的蒸发源中，可以确保蒸发源的洁净度，减少有机材料的浪费，降低成材料成本。另一方面，可以提高掩膜板单次使用时间，进而提高生产效率。再一方面，掩膜板单次使用时间越长，则可以减少掩膜板清洗的频率，进而延长掩膜板的使用寿命，进一步降低生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 掩膜板 掩膜基板 蒸镀面 粗化处理 单次使用 基板本体 有机材料 粗糙度 粗糙面 蒸发源 蒸镀 材料成本 生产效率 使用寿命 玻璃面 洁净度 掉落 掩膜 粗糙 清洗 玻璃 贯穿 | ||
【主权项】：
1.一种掩膜基板，其特征在于，包括：基板本体，所述基板本体具有蒸镀面、与所述蒸镀面相背的玻璃面及自所述蒸镀面贯穿至所述玻璃面的多个蒸镀孔；所述蒸镀面被构造成经粗化处理后具有预定粗糙度的粗糙面。
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