[发明专利]物理量传感器及其设备、复合传感器设备和电子设备

摘要

一种物理量传感器及其设备、复合传感器设备和电子设备，具有优异的检测灵敏度。物理量传感器包括：基板；与基板相对的可动体；固定于基板的固定部；连接可动体和固定部的支承梁。另外，可动体能够将支承梁作为旋转轴而进行位移，在俯视时，可动体包括相对于旋转轴位于第二方向的一侧的第一质量部和位于另一侧的第二质量部。另外，第一质量部以及第二质量部分别具有贯通可动体并且开口形状为正方形状的多个贯通孔。另外，将阻尼设为C、将阻尼的最小值设为Cmin时，满足C≤1.5×Cmin。

主权项

1.一种物理量传感器，其特征在于，所述物理量传感器包括：基板；与所述基板相对的可动体；固定于所述基板的固定部；以及连接所述可动体和所述固定部的支承梁，所述可动体能够将所述支承梁作为旋转轴而进行位移，在俯视时，所述可动体包括：第一质量部，相对于所述旋转轴，位于与第一方向正交的第二方向的一侧，所述第一方向是沿着所述旋转轴的方向；第二质量部，相对于所述旋转轴，位于所述第二方向的另一侧；以及连结部，连结所述第一质量部和所述第二质量部，所述第一质量部以及所述第二质量部分别具有开口形状为正方形状的多个贯通孔，所述多个贯通孔在与所述第一方向以及所述第二方向正交的第三方向上贯通所述可动体，将所述贯通孔的所述第三方向的长度设为H、将所述可动体的沿着所述第一方向的长度的1/2的长度设为a、将所述可动体的沿着所述第二方向的长度设为L、将所述基板上的固定电极与所述可动体的间隔设为h、将所述贯通孔的一边的长度设为S0、将相邻的所述贯通孔彼此的间隔设为S1、将粘性阻力设为μ、将所述可动体上产生的阻尼设为C时，满足下述式(1)其中，满足K(β)＝4β²‑β⁴‑4lnβ‑3r₀＝0.547×S0，在所述式(1)中，将满足时的C设为Cmin时，满足C≤1.5×Cmin。