[发明专利]用于检查的具有电可控制孔径的传感器及计量系统

摘要

本申请涉及用于检查的具有电可控制孔径的传感器及计量系统。通过将更负控制电压施加到像素的电阻式控制栅极的中心区域及将更正控制电压施加到该栅极的端部分实现线性传感器中的像素孔径大小调整。这些控制电压引起该电阻式控制栅极产生电场，该电场将在像素的光敏区域的选定部分中产生的光电子驱动到电荷积累区域中以用于后续测量，且驱动在像素的光敏区域的其它部分中产生的光电子远离该电荷积累区域以用于后续舍弃或同时读出。系统利用光学器件以将以不同角度或在不同位置接收的光从样本引导到每一像素的光敏区域的对应不同部分中。多个孔径控制电极经选择性地致动以收集/测量从窄或宽角度或者位置范围接收的光，借此实现快速图像数据调整。

主权项

1.一种检查样本的方法，所述方法包括：将辐射引导及聚焦到所述样本上；将从所述样本接收的辐射引导到线传感器，其中所述线传感器包含安置于衬底上的至少一个像素，所述像素包含附接到所述衬底的上表面且安置于所述衬底的光敏区域上方的电阻式控制栅极，且其中引导接收到的辐射包含引起经引导的光进入所述光敏区域；使用预定孔径控制信号驱动所述电阻式控制栅极，使得所述电阻式控制栅极在所述光敏区域中产生电场，所述电场将由第一光部分在所述像素的第一光敏部分中产生的第一光电子驱动到经定位成邻近所述电阻式控制栅极的第一端部分的第一电荷积累区域中，且将由第二光部分在所述像素的第二光敏部分中产生的第二光电子朝向所述电阻式控制栅极的第二端部分驱动。