[发明专利]一种测量光学自由曲面的装置在审
| 申请号： | 201910252269.1 | 申请日： | 2019-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN110375664A | 公开（公告）日： | 2019-10-25 |
| 发明（设计）人： | 张效栋;朱琳琳;武光创;房丰洲 | 申请（专利权）人： | 天津大学 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;G01M11/00 |
| 代理公司： | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 | 代理人： | 程毓英 |
| 地址： | 300072*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种测量光学自由曲面的装置，用于测量工件的三维形貌，包括聚焦式激光位移传感器、反射镜、气浮测头、纳米二维位移机构、聚焦式激光位移传感器的信号采集电路、工控机和纳米二维位移机构控制器；气浮测头包括探针、探针轴，反射镜置于探针轴的尾部，探针轴置于气浮导轨上，工控机通过纳米二维位移机构控制器控制纳米二维位移机构按照所设计路径进行运动，气浮测头的探针在测试工件表面滑动，导致反射镜产生连续轴向移动，聚焦式激光位移传感器产生聚焦误差信号，通过信号采集电路把聚焦误差信号输入到工控机。 | ||
| 搜索关键词： | 二维位移机构 激光位移传感器 反射镜 工控机 聚焦式 探针轴 测头 气浮 聚焦误差信号 信号采集电路 测量光学 自由曲 探针 控制器控制 表面滑动 测量工件 测试工件 气浮导轨 三维形貌 控制器 连续轴 移动 | ||
【主权项】：
1.一种测量光学自由曲面的装置，用于测量工件的三维形貌，包括聚焦式激光位移传感器、反射镜、气浮测头、纳米二维位移机构、聚焦式激光位移传感器的信号采集电路、工控机和纳米二维位移机构控制器；气浮测头包括探针、探针轴，反射镜置于探针轴的尾部，探针轴置于气浮导轨上，工控机通过纳米二维位移机构控制器控制纳米二维位移机构按照所设计路径进行运动，气浮测头的探针在测试工件表面滑动，导致反射镜产生连续轴向移动，聚焦式激光位移传感器产生聚焦误差信号，通过信号采集电路把聚焦误差信号输入到工控机；工控机通过分析计算聚焦误差信号得到反射镜产生的轴向位移量，计算出测试工件的工件形貌的高度变化，根据纳米二维位移机构和工件形貌的高度变化构建测试工件的三维形貌。
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