[发明专利]垂直腔面发射激光器及其制作方法在审
| 申请号： | 201910252313.9 | 申请日： | 2019-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN110137801A | 公开（公告）日： | 2019-08-16 |
| 发明（设计）人： | 葛永晖;刘旺平;曹阳;王群;吕蒙普;胡加辉;李鹏 | 申请（专利权）人： | 华灿光电（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | H01S5/183 | 分类号： | H01S5/183;H01S5/024 |
| 代理公司： | 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 | 代理人： | 徐立 |
| 地址： | 215600 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种垂直腔面发射激光器及其制作方法，属于半导体技术领域。所述垂直腔面发射激光器包括衬底、散热层、下反射层、发光区、上反射层、上金属电极和下金属电极；所述散热层、所述下反射层、所述发光区、所述上反射层和所述上金属电极依次层叠在所述衬底的第一表面上，所述下金属电极设置在所述衬底的第二表面上，所述衬底的第二表面与所述衬底的第一表面相对；所述下反射层包括依次层叠的多层硼烯薄膜，所述散热层的材料采用石墨烯或者砷化硼。本发明将下反射层从DBR结构改为依次层叠的多层硼烯薄膜，可以有效增强底部的反光效果，下反射层的反射率将远高于上反射层的反射率，VCSEL的出光效率得到极大提高。 | ||
| 搜索关键词： | 反射层 衬底 垂直腔面发射激光器 依次层叠 散热层 上金属电极 下金属电极 第二表面 第一表面 发光区 反射率 多层 薄膜 半导体技术领域 出光效率 反光效果 石墨烯 砷化 制作 | ||
【主权项】：
1.一种垂直腔面发射激光器，其特征在于，所述垂直腔面发射激光器包括衬底(10)、散热层(20)、下反射层(21)、发光区(30)、上反射层(22)、上金属电极(41)和下金属电极(42)；所述散热层(20)、所述下反射层(21)、所述发光区(30)、所述上反射层(22)和所述上金属电极(41)依次层叠在所述衬底(10)的第一表面上，所述下金属电极(42)设置在所述衬底(10)的第二表面上，所述衬底(10)的第二表面与所述衬底(10)的第一表面相对；所述下反射层(21)包括依次层叠的多层硼烯薄膜(211)，所述散热层(20)的材料采用石墨烯或者砷化硼。
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