[发明专利]基于Fick扩散定律的微型氯离子传感器及其方法

摘要

本发明公开了一种基于Fick扩散定律的微型氯离子传感器及其方法，采用本发明所述方法制备的氯离子传感器为薄片式、全固态的微型氯离子传感器，具有体积小、结构稳定性好、可靠性高、密封性好的优点，可以安放在仪器设备的任何测试部位，受外界因素影响小，尤其适用于高盐高湿微液膜环境下飞行器腐蚀状况的实时监测。本发明能够弥补之前被动式测量信号弱、稳定性差、寿命短、响应时间长等多种缺点，并且测量微液膜状态下的氯离子浓度，能够应用于飞行器盐雾腐蚀与防护，提高飞行器使用寿命。

主权项

1.基于Fick扩散定律的微型氯离子传感器，其特征在于，包含聚酰亚胺薄片基板、辅助电极、感受电极、参比电极和对电极；所述辅助电极、感受电极、参比电极、对电极均设置在所述聚酰亚胺薄片基板上，均包含敏感元、导线、以及通过导线和敏感元相连的焊点；所述感受电极的敏感元呈叉指状；所述辅助电极的敏感元呈矩形，其上设有用于放置感受电极敏感元的凹槽；所述感受电极的敏感元放置在辅助电极敏感元的凹槽内；所述参比电极、对电极的敏感元均呈长条状，分别设置在所述辅助电极敏感元两侧、和辅助电极敏感元两侧的边平行，且和感受单机敏感元的叉指长度方向垂直；所述辅助电极的敏感元、感受电极的敏感元、参比电极的敏感元从下至上均包含Ti粘附层、Pt电极层和Au薄膜层；所述对电极的敏感元从下至上均包含Ti粘附层和Pt电极层；所述所述辅助电极的敏感元、感受电极的敏感元、参比电极的敏感元上镀有Ag薄膜层，且Ag薄膜层上镀有AgCl薄膜层；所述辅助电极、感受电极、参比电极、对电极之间均不接触。