[发明专利]六边形盒状三维探测器及其制备方法有效
| 申请号： | 201910255429.8 | 申请日： | 2019-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN109994454B | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 李正;张亚;廖川;路顺茂 | 申请（专利权）人： | 李正 |
| 主分类号： | H01L25/04 | 分类号： | H01L25/04;H01L31/0224;H01L31/08;H01L31/18 |
| 代理公司： | 长沙新裕知识产权代理有限公司 43210 | 代理人： | 周跃仁 |
| 地址： | 美国纽约市南*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种六边形盒状三维探测器及其制备方法，该探测器由数个探测单元排列组成，探测单元的外部呈正六棱柱，探测单元包括硅基底，硅基底上固定有中空的壳形电极，壳形电极内填充有探测基体，探测基体顶部中间镶嵌有中央收集电极，壳形电极和中央收集电极顶部附着有氧化层，探测基体顶部附着有金属层；本发明制备的探测器结电容和信号噪声小，死区比例小，电流信号间不会相互干扰，探测器的位置分辨率和能量分辨率高；探测器内部的电场分布均匀，且粒子能够双面入射，工作效率高，能使用电池驱动，方便携带。 | ||
| 搜索关键词： | 六边形 三维 探测器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.六边形盒状三维探测器，其特征在于，探测器由数个探测单元排列组成，探测单元的外部呈正六棱柱，探测单元包括硅基底(4)，硅基底(4)上固定有壳形电极(3)，壳形电极(3)由底面和侧面组成，底面为正六边形的离子注入层，侧面是沿着底面正六边形边垂直刻蚀的矩形沟槽，沟槽中扩散掺杂有半导体材料，壳形电极(3)内填充有探测基体(2)，探测基体(2)顶面的中间部位镶嵌有正六棱柱状的中央收集电极(1)，中央收集电极(1)和壳形电极(3)的顶面附着有金属层(6)，探测基体(2)顶面附着有氧化层(5)，中央收集电极(1)接负极，壳形电极(3)接阳极。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于李正，未经李正许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910255429.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
