[发明专利]一种氮掺非晶氧化物薄膜晶体管及其制备方法在审
| 申请号： | 201910256342.2 | 申请日： | 2019-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN111769161A | 公开（公告）日： | 2020-10-13 |
| 发明（设计）人： | 李治玥;宋淑梅;杨田林;孙珲;刘通 | 申请（专利权）人： | 山东大学 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786;H01L21/336;H01L29/24 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 赵晓琳 |
| 地址： | 264200 *** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： |
本发明属于晶体管制备技术领域，尤其涉及一种氮掺非晶氧化物薄膜晶体管及其制备方法。本发明提供的氮掺非晶氧化物薄膜晶体管中的氮掺ITZO有源层为非晶结构，在可见光范围内透过率约90％；以氮掺ITZO为有源层的薄膜晶体管具有场效应高(场效应迁移率高达27.97cm |
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| 搜索关键词： | 一种 氮掺非晶 氧化物 薄膜晶体管 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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