[发明专利]基于相位调制的干涉型痕量气体探测系统在审
| 申请号： | 201910256389.9 | 申请日： | 2019-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN109856086A | 公开（公告）日： | 2019-06-07 |
| 发明（设计）人： | 林学春;白云瑞;张景园;张玲;杨莹盈;杨松;黄俊媛 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | G01N21/39 | 分类号： | G01N21/39;G01N21/01 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 李坤 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种基于相位调制的干涉型痕量气体探测系统，包括：DFB光源，用于输出光；信号发生源，一端与所述DFB光源的一端相连，用于对所述DFB光源的输出光进行调制，输出参考信号；光纤隔离器，一端与所述DFB光源的另一端相连，用于抑制回波；MZI光纤干涉仪，与所述光纤隔离器相连，包括：气室，充有待测痕量气体，作为所述MZI光纤干涉仪的信号臂；以及PZT相位调制器，与所述气室并联关系，作为所述MZI光纤干涉仪的参考臂；终端信号处理模块，其一输入端与所述信号发生源相连，其另一输入端经光电二极管与所述MZI光纤干涉仪相连，所述终端信号处理模块用于接收信号发生源输出的参考信号及MZI光纤干涉仪的输出信号，并获取痕量气体浓度信息。 | ||
| 搜索关键词： | 痕量气体 信号发生源 光纤干涉 终端信号处理模块 光纤干涉仪 光纤隔离器 探测系统 相位调制 干涉型 输出光 输入端 气室 光电二极管 相位调制器 并联关系 浓度信息 输出信号 输出 参考臂 信号臂 回波 调制 | ||
【主权项】：
1.一种基于相位调制的干涉型痕量气体探测系统，包括：DFB光源，用于输出光；信号发生源，一端与所述DFB光源的一端相连，用于对所述DFB光源的输出光进行调制，输出参考信号；光纤隔离器，一端与所述DFB光源的另一端相连，用于抑制回波；MZI光纤干涉仪，与所述光纤隔离器相连，包括：气室，充有待测痕量气体，作为所述MZI光纤干涉仪的信号臂；以及PZT相位调制器，与所述气室并联关系，作为所述MZI光纤干涉仪的参考臂；终端信号处理模块，其一输入端与所述信号发生源相连，其另一输入端经光电二极管与所述MZI光纤干涉仪相连，所述终端信号处理模块用于接收信号发生源输出的参考信号及MZI光纤干涉仪的输出信号，并获取痕量气体浓度信息。
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