[发明专利]阵列基板、其制备方法及数字微流控芯片

摘要

本发明公开了一种阵列基板、其制备方法及数字微流控芯片，由于微转印工艺是基于硅基工艺的，硅基工艺下制备的光电二极管具有很好的器件性能，从而通过微转印工艺将光电二极管形成在衬底基板上，可以解决直接利用玻璃基板制备的光电二极管的光电特性不佳的问题，进而改善形成的光电二极管的性能。

主权项

1.一种阵列基板的制备方法，其特征在于，所述阵列基板应用于数字微流控芯片中；所述阵列基板的制备方法包括：在衬底基板上形成多个光电二极管和多个透明驱动电极的图形；其中，所述光电二极管和所述透明驱动电极相互绝缘，所述光电二极管采用微转印工艺形成在所述衬底基板上。