[发明专利]一种平行双关节坐标测量机的Z轴阿贝误差修正方法

摘要

本发明公开一种平行双关节坐标测量机的Z轴阿贝误差修正方法，包括如下步骤，平行双关节坐标测量机的连接臂进行力变形仿真，在平行双关节坐标测量机的连杆两端分别固定安装激光发射器、位敏探测器，激光发射器射出的光束集中在位敏探测器工作面的中间区域；当触发测头接触到待测工件后，主控电路检测到触发信号后，同步锁存并记录激光发射器射出的激光打在位敏探测器上光斑的偏移量、直光栅和2个圆光栅的数值；通过获取的偏移量计算出阿贝角；通过获取的2个圆光栅角度值，结合测量臂的几何参数值，计算出阿贝臂；根据计算得到的阿贝臂和阿贝角，对Z轴直光栅的示值进行Z轴阿贝误差实时修正。可显著提高平行双关节坐标测量机的测量精度。

主权项

1.一种平行双关节坐标测量机的Z轴阿贝误差修正方法，其特征在于：包括如下步骤，1)平行双关节坐标测量机的测量臂进行力变形仿真，在平行双关节坐标测量机的连杆1两端分别固定安装激光发射器(2)、位敏探测器(3)，调整激光发射器和位敏探测器的位置，连杆(1)在有支撑的情况下，激光发射器射出的光束集中在位敏探测器工作面的中间区域；2)在工作状态下，当触发测头(4)接触到待测工件后，主控电路检测到触发信号后，同步锁存并记录激光发射器射出的激光打在位敏探测器上光斑的偏移量、Z轴直光栅(5)和2个圆光栅的数值；3)通过获取的偏移量计算出阿贝角；4)通过获取的2个圆光栅角度值，结合测量臂的几何参数值，计算出阿贝臂；5)根据计算得到的阿贝臂和阿贝角，对Z轴直光栅(5)的数值进行Z轴阿贝误差实时修正。