[发明专利]一种基于柔性衬底生长的锶掺杂钛酸钡多晶薄膜的制备方法在审
| 申请号： | 201910257889.4 | 申请日： | 2019-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN110042466A | 公开（公告）日： | 2019-07-23 |
| 发明（设计）人： | 陆旭兵;高栋 | 申请（专利权）人： | 肇庆市华师大光电产业研究院 |
| 主分类号： | C30B29/32 | 分类号： | C30B29/32;C30B28/12;C23C14/08;C23C14/28;H01G4/10 |
| 代理公司： | 广州正明知识产权代理事务所(普通合伙) 44572 | 代理人： | 成姗 |
| 地址： | 526000 广东省肇庆市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于柔性衬底生长的锶掺杂钛酸钡多晶薄膜的制备方法，包括将锶掺杂钛酸钡块体为靶材，云母作为衬底，控制靶材与衬底距离为4~4.5cm，将腔体封闭并抽真空至10‑4 Pa以下，然后控制纯氧的氧压为15~20Pa，激光能流密度为2~2.5 J/cm2，然后以2~5℃/min的速度将腔内样品台温度升至650~700℃，轰击靶材，得到柔性的锶掺杂钛酸钡多晶薄膜。本发明制备的锶掺杂钛酸钡薄膜致密性和平整度较好，在制备耐高温、可柔性弯曲的高介电电容器中具有很好的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 锶掺杂 钛酸钡 衬底 制备 多晶薄膜 靶材 高介电电容器 纯氧 云母 钛酸钡薄膜 腔体封闭 柔性弯曲 生长 抽真空 耐高温 平整度 样品台 致密性 块体 能流 腔内 氧压 轰击 激光 应用 | ||
【主权项】：
1.一种基于柔性衬底生长的锶掺杂钛酸钡多晶薄膜的制备方法，其特征在于，包括将锶掺杂钛酸钡块体为靶材，云母作为衬底，控制靶材与衬底距离为 4~4.5cm，真空处理至 10‑4 Pa以下，然后控制纯氧的氧压为15 ~20Pa，激光能流密度为2~2.5 J/cm2，以2~5℃/min 的速度升温至 650~700℃，轰击靶材，得到柔性的锶掺杂钛酸钡多晶薄膜。
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