[发明专利]三氯氢硅及四氯化锆的联合制备系统及方法在审

专利信息
申请号: 201910258053.6 申请日: 2019-04-01
公开(公告)号: CN111762788A 公开(公告)日: 2020-10-13
发明(设计)人: 武珠峰;银波;范协诚;宋高杰;朱秀萍 申请(专利权)人: 新特能源股份有限公司
主分类号: C01B33/107 分类号: C01B33/107;C01G25/04
代理公司: 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 代理人: 罗建民;张萍
地址: 830011 新疆维吾尔自治区乌鲁木齐国*** 国省代码: 新疆;65
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摘要: 发明公开了一种三氯氢硅及四氯化锆的联合制备系统及方法,该系统包括:三氯氢硅合成炉;排渣管道,设置于三氯氢硅合成炉与氯化反应炉之间,排渣管道的入口与排渣口连接,排渣管道的出口与氯化反应炉的进料口连接;氯化反应炉,与排渣管道的出口连接,在氯化反应炉内,硅渣中的硅与氯气反应放热为以锆英砂为原料与碳质还原剂反应合成四氯化锆补热,硅渣中的二氧化硅与氯气反应生成气态的四氯化硅。本发明一方面实现了硅渣中硅元素的回收利用,降低了多晶硅生产过程中的硅单耗,另一方面实现了四氯化锆氯化反应炉的补热,降低了能耗,降低了三氯氢硅、四氯化锆的生产成本,降低劳动强度,杜绝了环境污染,改善了环境。
搜索关键词: 三氯氢硅 氯化 联合 制备 系统 方法
【主权项】:
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