[发明专利]一种多波长干涉测量中光强一致性的控制方法在审
| 申请号： | 201910258078.6 | 申请日： | 2019-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN109974617A | 公开（公告）日： | 2019-07-05 |
| 发明（设计）人： | 翟中生;黄娇洁;王选择;吕清花;聂磊;冯胜;刘梦然;李劲松 | 申请（专利权）人： | 湖北工业大学 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;G01B11/22 |
| 代理公司： | 武汉科皓知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 42222 | 代理人： | 胡琦旖 |
| 地址： | 430068 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明属于多波长干涉测量技术领域，公开了一种多波长干涉测量中光强一致性的控制方法，获得多组滤光片的测量电压值，根据测量电压值反馈控制光源驱动电流，进行光强一致性的初步控制；根据CCD采集的干涉灰度图像获得信息容量值，根据信息容量值反馈控制光源驱动电流，进行光强一致性的精细控制。本发明解决了现有技术中多波长干涉微表面形貌干涉测量系统中存在波长切换时光强不一致的问题，从源头提高多波长干涉测量的精度，能够极大地提高后续测量结果的精度和可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 多波长 光强 干涉测量 光源驱动电流 测量电压 反馈控制 干涉测量技术 干涉测量系统 后续测量结果 形貌 波长切换 灰度图像 获得信息 信息容量 不一致 滤光片 微表面 干涉 采集 精细 源头 | ||
【主权项】：
1.一种多波长干涉测量中光强一致性的控制方法，其特征在于，包括：光强一致性的初步控制、光强一致性的精细控制；所述光强一致性的初步控制包括：获得多组滤光片的测量电压值，根据所述测量电压值反馈控制光源驱动电流；所述光强一致性的精细控制包括：根据CCD采集的干涉灰度图像获得信息容量值，根据所述信息容量值反馈控制所述光源驱动电流。
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