[发明专利]COA基板及COA基板色阻层膜厚测量方法有效
| 申请号： | 201910258251.2 | 申请日： | 2019-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN110047939B | 公开（公告）日： | 2022-04-26 |
| 发明（设计）人： | 向盼 | 申请（专利权）人： | TCL华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786;H01L21/66 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人： | 黄威 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种COA基板，包括多个阵列排布在基板上的子基板单元，每个子基板单元分为：显示区以及环绕在显示区四周的非显示区；其中，所述显示区的内部膜层包括：第一金属层、栅绝缘层、有源层、第二金属层、色阻层以及钝化层；所述非显示区的内部膜层包括：栅绝缘层、钝化层和色阻层；有益效果：与现有技术相比，本申请提供的COA基板及COA基板色阻层膜厚测量方法，采用光的干涉原理进行测量，先测量栅绝缘层和第一钝化层的膜厚，再测量色阻层的膜厚，以此减小COA基板色阻层膜厚测量的过程中，色阻层膜厚的测量结果受非显示区中栅绝缘层和第一钝化层折射率的影响，提高测量结果的准确性，以此提高成品率。 | ||
| 搜索关键词： | coa 基板色阻层膜厚 测量方法 | ||
【主权项】：
1.一种COA基板，其特征在于，包括多个阵列排布在基板上的子基板单元，每个子基板单元分为：显示区以及环绕在显示区四周的非显示区；其中，所述显示区的内部膜层包括：第一金属层、栅绝缘层、有源层、第二金属层、色阻层以及钝化层；所述非显示区的内部膜层包括：栅绝缘层、钝化层和色阻层。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于TCL华星光电技术有限公司，未经TCL华星光电技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910258251.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：场效应晶体管、显示元件、图像显示装置和系统
- 下一篇：一种双沟道的TFT结构
- 同类专利
- 专利分类
