[发明专利]一种压电加速度传感器及其制备方法

摘要

本发明涉及一种压电加速度传感器及其制备方法，属于加速度传感器领域。该传感器包括螺栓、质量块、绝缘片I、绝缘片II、压电堆、电极片和底座；所述压电堆两端设有电极片，用于提取压电柱产生的电荷；所述绝缘片I和绝缘片II设置在电极片外侧，用于为压电堆与底座之间提供电学绝缘；所述质量块和底座分别设置在绝缘片I和绝缘片II外侧；所述质量块、绝缘片I、绝缘片II、压电堆、电极片和底座由螺栓串联。本发明通过多层嵌套的方式制作压电环及压电片状换能结构，代替传统的压电陶瓷片，提高了灵敏度，降低了最大横向灵敏度比，以满足大量程、高灵敏度、低横向灵敏度的应用要求。

主权项

1.一种压电加速度传感器，其特征在于：包括螺栓、质量块、绝缘片I、绝缘片II、压电堆、电极片和底座；所述压电堆两端设有电极片，用于提取压电柱产生的电荷；所述绝缘片I和绝缘片II设置在电极片外侧，用于为压电堆与底座之间提供电学绝缘；所述质量块和底座分别设置在绝缘片I和绝缘片II外侧；所述质量块、绝缘片I、绝缘片II、压电堆、电极片和底座由螺栓串联，形成多层夹心式结构，由螺栓提供纵向的预紧力；所述压电堆包括压电柱I、填充物I、紧固套管I、压电柱II、填充物II和紧固套管II；其中，所述压电柱I为圆周分布，与填充物I组成环形结构，嵌入紧固套管I之中，组成敏感结构I；所述压电柱II为圆周分布，与填充物II组成环形结构，嵌入紧固套管II之中，组成敏感结构II；所述敏感结构I嵌入敏感结构II之中，形成压电堆。