[发明专利]一种束流竖直方向密度分布的测量装置及方法在审
| 申请号： | 201910258890.9 | 申请日： | 2019-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN111769030A | 公开（公告）日： | 2020-10-13 |
| 发明（设计）人： | 李更兰;田龙;张丛 | 申请（专利权）人： | 北京中科信电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01J37/244;G01T1/29 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 101111 北京市通*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种竖直方向束流密度的测量装置和方法，涉及离子注入机，属于半导体制造领域。该装置包括：法拉第杯(1)，束流挡板(3)，传动装置(10)，控制器(12)。该方法包括：设定测量精度，精度将决定束流挡板每运动多少距离(6)法拉第杯采集一次值；根据束流挡板底部边缘(4)的位置值记录法拉第杯的采集值，得到采集值数组；当束流挡板顶部边缘(2)位置低于法拉第杯缝口底部边缘(7)时，一次测量结束；将采集值数组元素依次代入说明书中的“束流密度迭代公式”得到束流平均密度数组。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 竖直 方向 密度 分布 测量 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京中科信电子装备有限公司，未经北京中科信电子装备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910258890.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
