[发明专利]一种双面太阳能电池超浅结结深的测量方法及其装置有效
| 申请号： | 201910259916.1 | 申请日： | 2019-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN110011617B | 公开（公告）日： | 2020-07-03 |
| 发明（设计）人： | 马晓波;陈焕铭;曹志杰;杨利利 | 申请（专利权）人： | 宁夏大学 |
| 主分类号： | H02S50/10 | 分类号： | H02S50/10;G01B11/22 |
| 代理公司： | 北京弘权知识产权代理事务所(普通合伙) 11363 | 代理人： | 逯长明;许伟群 |
| 地址： | 750001 宁夏回族*** | 国省代码： | 宁夏;64 |
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| 摘要： | 本发明是一种双面电池PN结测量方法，通过石墨管状电极真空吸附待测硅片，使待测面接触电解溶液氧化生成二氧化硅薄膜，再通过光纤光谱仪实时监控测量薄膜厚度，用氢氟酸溶液将氧化层去除，四探针测量电阻率，重复氧化层生成‑测量膜厚‑腐蚀氧化层‑测量电阻率步骤，直到电阻率等于基片电阻。将硅片翻转重复上述步骤，实现背面PN结深度的测量。本发明所述的PN结深度的测量方法适用于双面电池结深测量，具有步骤简单、成本低廉、测量精准的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 双面 太阳能电池 超浅结结深 测量方法 及其 装置 | ||
【主权项】：
1.一种双面太阳能电池超浅结结深的测量方法及其装置，包括提拉仪(1)，其特征在于，所述提拉仪(1)的上部设置有旋转盘(11)，所述旋转盘(11)上夹装有真空管(12)，所述真空管(12)与真空泵(2)相连，所述真空管(12)的内部设置有石墨电极(5)，所述真空管(12)可通过真空度的调节带动石墨电极(5)上下移动，所述石墨电极(5)的上端与直流电源(3)的正极相接通，直流电源(3)可为石墨电极(5)提供电流，所述石墨电极(5)的正下方放置有参比硅片(7)，当石墨电极(5)通电后可将参比硅片(7)吸附在石墨电极(5)的下部，所述提拉仪(1)的底部平台上放置有分别盛放HF溶液(8)与电解溶液(9)的容器，所述直流电源(3)的负极与铂阴极(6)相连通，所述铂阴极(6)放置在电解溶液(9)的内部，所述参比硅片(7)的底部与光纤(10)相连接，所述光纤(10)与光纤光谱仪(4)相连，测量过程包括如下步骤：(1)配制电解溶液(9)；(2)测量参比硅片(7)；(3)阳极氧化扩散片待测面生成二氧化硅膜；(4)腐蚀二氧化硅；(5)清洗参比硅片(7)；(6)测量方阻；(7)累积计算；(8)测量背面PN结深度。
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